電容式、擴散硅、單晶硅是壓力變送器傳感器的種類
壓力變送器根據(jù)傳感器種類,可分為電容式壓力變送器、擴散硅壓力變送器、單晶硅壓力變送器。15305232668
電容式壓力變送器的原理
當壓力直接作用在測量膜片的表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,測量膜片上的高精度電路將這個微小的形變變換成為與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,然后采用專用芯片將這個電壓信號轉(zhuǎn)換為工業(yè)標準的4-20mA電流信號或者1-5V電壓信號。
擴散硅壓力變送器的原理
被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(一般是316L材質(zhì)膜片),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用惠斯通電路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
單晶硅壓力變送器的原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。
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